半導(dǎo)體生產(chǎn)排放的廢氣和廢水中砷、磷、硫的分析方法研究
| 論文類(lèi)型 | 基礎(chǔ)研究 | 發(fā)表日期 | 2003-11-01 |
| 來(lái)源 | 重慶環(huán)境科學(xué) | ||
| 作者 | 聞瑞梅,鄧守權(quán),張亞峰,范偉 | ||
| 關(guān)鍵詞 | 高溫氫還原-氣相色譜 砷 磷 硫 分析方法 | ||
| 摘要 | 研究了一種快速、靈敏、可靠的高溫氫還原2氣相色譜分析方法[1- 2 ],并自行設(shè)計(jì)了高溫還原系統(tǒng)(還原爐、六通閥等), 測(cè)定半導(dǎo)體生產(chǎn)排放廢氣和廢水中的砷、磷、硫及其化合物, 樣品不需預(yù)處理, 使氣相色譜儀能直接測(cè)定固、液、氣相樣品中砷、磷、硫及其化合物的含量。砷、磷、硫的檢測(cè)限分別為0.01mg/L、0. 003mg/L 、0. 02mg/L ; 相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為6. 2%、8. 6% 和0. 3% , 與經(jīng)典方法進(jìn)行對(duì)比, 結(jié)果基本一致。從分析方法的誤差統(tǒng)計(jì)角度, 也說(shuō)明該方法準(zhǔn)確、可靠。 | ||
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